SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 論文 > 詳細

論文の表示

著者名Hiroyoshi Momida, Tomoyuki Hamada, Takenori Yamamoto, Tsuyoshi Uda, Naoto Umezawa, Toyohiro Chikyow, Kenji Shiraishi, Takahisa Ohno.
タイトルEffects of nitrogen atom doping on dielectric constants of Hf-based gate oxides
掲載誌名Applied Physics Letters 88 [11] 112903
ISSN: 10773118 00036951
発表年2006
言語English
ESIでのカテゴリPHYSICS
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.2184991
この文献をMendeleyにインポートMendeley

▲ページトップへ移動