Micro-object Pick and Place Operation under SEM based on Micro-physics
(微小体物理学に基づいた走査電顕下での微小物体操作)

著者	Shigeki Saito, , Hideki T. Miyazaki, Tomomasa Sato, , .
掲載誌名	Journal of Robotics and Mechatronics 14 [3] 227-237 ISSN: 18838049, 09153942
出版社
発表年	2002
言語	English
DOI	https://doi.org/10.20965/jrm.2002.p0227
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