SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 論文 > 書誌詳細

Nanometer scale X-ray absorption spectroscopy and chemical states mapping of ultra thin oxides on Silicon using Electrostatic Force Microscopy
(静電気力プローブ顕微鏡を使った極薄Si酸化膜のナノメートルX線分光と化学状態マッピング)

M. Ishii, B. Hamilton, N. R. J. Poolton, N. Rigopoulos, S. De Gendt, K. Sakurai.
Applied Physics Letters 90 [6] 063101. 2007.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2016-05-24 15:09:02 +0900 更新時刻 :2020-11-16 23:08:29 +0900

    ▲ページトップへ移動