HOME > 論文 > 書誌詳細Microstructure and Growth of SiC Film by Excimer Laser Chemical Vapour Deposition at Low Temperatures.(エキシマレーザCVDによるSiC膜の低温成長と構造.)野田哲二, SUZUKI, Hiroshi, 荒木弘, ABE, Fujio, 岡田雅年, 野田哲二, 荒木弘, 岡田雅年. Journal of Materials Science 28 2736-2768. 1993.NIMS著者鈴木 裕阿部 冨士雄Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:34:05 +0900更新時刻: 2018-12-15 00:41:59 +0900