HOME > 論文 > 書誌詳細Microstructure fabrication of GaAs by low energy focused ion beam(低エネルギー集束イオンビームによるGaAs微細構造の作製)CHIKYO, Toyohiro, KOGUCHI, Nobuyuki. Journal of Vacuum Science and Technology . .NIMS著者知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-11-15 00:39:18 +0900更新時刻: 2022-11-15 00:39:18 +0900