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著者名Michinori Yamamoto, Tokuyuki Teraji, Toshimichi Ito.
タイトルImprovement in the crystalline quality of homoepitaxial diamond films by oxygen plasma etching of mirror-polished diamond substrates
掲載誌名Journal of Crystal Growth 285 [1-2] 130-136
出版社Elsevier BV
発表年2005
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2005.08.019
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