真空容器内壁被覆用回転導入スパッタ電極
(Sputter electrode with rotation and linear drive for vacuum chamber wall coating)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-11-15 00:40:19 +0900更新時刻: 2022-11-15 00:40:19 +0900