HOME > 論文 > 書誌詳細micro-XPS analysis of TiN with/without Cl implantation(TiN膜へのClイオン打ち込み効果のXPSによる研究)M. Yoshitake, A. Thananan, T. Aizawaki, K. Yoshihara. Surface and Interface Analysis 34 [1] 698-702. 2002.https://doi.org/10.1002/sia.1391 NIMS著者吉武 道子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:46:49 +0900更新時刻: 2024-05-02 06:59:45 +0900
