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micro-XPS analysis of TiN with/without Cl implantation
(TiN膜へのClイオン打ち込み効果のXPSによる研究)

M. Yoshitake, A. Thananan, T. Aizawaki, K. Yoshihara.
Surface and Interface Analysis 34 [1] 698-702. 2002.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2016-05-24 11:46:49 +0900更新時刻: 2024-10-08 05:09:04 +0900

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