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GROWTH AND PROPERTIES OF ZNO FILMS GROWN
(DMZnとN2Oガスを用いたプラズマアシストMOCVD法によるZnO薄膜成長と評価)

著者Takayuki Nakano, Nishimoto Kazuki, SUMIYA, Masatomo, Shunro Fuke.
掲載誌名JOURNAL OF AUTOMATION, MOBILE ROBOTICS & INTELLIGENT SYSTEMS 3 [4] 124-126
ISSN: 18978649
出版社
発表年2009
言語English

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