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著者名Jiro Ushio, Takahisa Ohno, Tomoyuki Hamada, Shin-Ichi Nakao, Katsumi Yoneda, Manabu Kato, Nobuyoshi Kobayashi.
タイトルUltraviolet-Curing Mechanism of Porous-SiOC
掲載誌名Japanese Journal of Applied Physics 46 [No. 17] L405-L407
ISSN: 13474065 00214922
発表年2007
言語English
ESIでのカテゴリPHYSICS
DOIhttps://doi.org/10.1143/jjap.46.l405
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