Nitrogen Plasma Enhanced Low Temperature Atomic Layer Deposition of Magnesium Phosphorus Oxynitride (MgPON) Solid‐State Electrolytes

著者	Jin Su, Tohru Tsuruoka, Takuji Tsujita, Yuu Inatomi, Kazuya Terabe.
掲載誌名	Angewandte Chemie International Edition 62 [9] ISSN: 00448249, 15213773, 14337851 ESIでのカテゴリ: CHEMISTRY
出版社	Wiley
発表年	2023
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1002/anie.202217203
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