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Nitrogen Plasma Enhanced Low Temperature Atomic Layer Deposition of Magnesium Phosphorus Oxynitride (MgPON) Solid‐State Electrolytes

Jin Su, Tohru Tsuruoka, Takuji Tsujita, Yuu Inatomi, Kazuya Terabe.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2023-03-10 03:39:26 +0900更新時刻: 2024-04-17 03:01:38 +0900

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