HOME > 論文 > 書誌詳細ON-LINE FORATION OF ISOTOPICALLY CONTROLLED SI FILMS FROM FLUORO-SILANE(儲吸遮轤膣I膜のオンライン生成)SUZUKI, Hiroshi, 竹内豊, ITOH, Shinji, 塩田一路, 野田哲二, 竹内豊, 塩田一路, 野田哲二. JOURNAL OF SURFACE ANALYSIS 372-376. 1998.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:39:33 +0900 更新時刻: 2018-12-15 00:34:44 +0900
