Cathodoluminescence and EBIC study of twist and tilt boundaries in bonded silicon wafers
(カソードルミネッセンス・EBICによる貼り合せシリコンウエハの傾斜、傾角粒界の研究)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-11-15 00:40:18 +0900更新時刻: 2022-11-15 00:40:18 +0900