Precise resistivity measurement of submicrometer-sized materials by using TEM with microprobes
(TEM内局所導電性評価手法の高精度化)

著者	N. Kawamoto, Y. Murakami, D. Shindo, H. Azehara, H. Tokumoto.
掲載誌名	MATERIALS TRANSACTIONS 50 [6] 1572-1575 ISSN: 13475320, 13459678 ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社
発表年	2009
言語	English
DOI	https://doi.org/10.2320/matertrans.m2009031
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