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著者名 | Masaaki Kobata, Igor Píš, Hiroshi Nohira, Hideo Iwai, Keisuke Kobayashi. |
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タイトル | Application of Cr Kα X-ray photoelectron spectroscopy system to overlayer thickness determination |
掲載誌名 | Surface and Interface Analysis 43 [13] 1632-1635 |
出版社 | Wiley |
発表年 | 2011 |
言語 | English |
DOI | https://doi.org/10.1002/sia.3760 |
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