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著者名Masaaki Kobata, Igor Píš, Hiroshi Nohira, Hideo Iwai, Keisuke Kobayashi.
タイトルApplication of Cr Kα X-ray photoelectron spectroscopy system to overlayer thickness determination
掲載誌名Surface and Interface Analysis 43 [13] 1632-1635
出版社Wiley
発表年2011
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1002/sia.3760
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