SAMURAI - NIMS Researchers Database

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Research

Keywords

EELS,STEM,phonon,subgap state

PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.

Presentations

Society memberships

The Physical Society of Japan, The Japanese Society of Microscopy

Center for Basic Research on Materials
Title

電子エネルギー損失分光の計測技術開発と応用

Keywords

電子エネルギー損失分光(EELS),走査型透過電子顕微鏡法(STEM),格子振動,ギャップ内準位

Overview

ナノメートル分解能での諸物性を高精度に計測する技術が求められている。赤外領域に現れる諸物性をナノメートル分解能で計測できる技術として、超高エネルギー分解能(~20meV)の電子エネルギー損失分光法(EELS)と走査型透過電子顕微鏡法(STEM)を組み合わせたSTEM–EELSの技術開発と計測応用を進めている。

Novelty and originality

超高エネルギー分解能(~20 meV)で赤外領域の計測が可能
EELSで温度をナノメートル分解能で測る技術
EELSでギャップ内準位をナノメートル分解能で測る技術
EELSで有機材料(電子線に弱い材料)を測る技術

Details

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STEM-EELSで超高エネルギー分解能(~20meV)、位置分解能(~1nm)、波数分解能(~3nm-1)を両立することで、赤外領域の物性をナノメートル分解能で計測できる。例えば、熱物性を決める格子振動(フォノン)に関して、(1)角度θ分解によるフォノン分散計測、(2)フォノンの強度や振動モードのマッピング、(3)界面に局在する振動モードの検出、(4)フォノン分光に基づく温度測定、などの技術を確立してきた。電子デバイス等の熱制御が重要な課題となってきているなかで、これらの成果は今後STEM-EELSがナノスケール熱解析ツールとして使える可能性を示すものである。超高エネルギー分解能は可視領域や紫外領域の計測においても有利であり、民間企業との共同研究を通してギャップ内準位のナノメートル分解能計測にも取り組んだ。一方では、電子線に弱くて計測が難しいとされてきた有機材料に対しても、低電子線量かつ低ノイズ・高感度検出での計測技術の確立を進めている。

Summary

赤外領域、可視領域、紫外領域のナノメートル分解能での物性計測ができる。
フォノン分光によるナノメートル分解能での温度測定ができる。
有機材料(電子線に弱い材料)への計測応用も進める。

この機能は所内限定です。
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