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石田 章
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研究内容

Keywords

形状記憶合金、アクチュエータ、MEMS

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

書籍
会議録
口頭発表
特許
  • 特許第5757531号 2方向性形状記憶合金薄膜アクチュエータとそれに使用される形状記憶合金薄膜の製造方法 (2015)
  • 特許第5757518号 薄膜アクチュエータの製造方法 (2015)
  • 特許第5131728号 高強力Ti−Ni−Cu形状記憶合金とその製造方法 (2012)
第二期開発予定
第二期開発予定

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