SAMURAI - NIMS Researchers Database

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This researcher left NIMS as of March 31st.

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研究内容

Keywords

ホウ化物、炭化物、表面

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

会議録
口頭発表
特許
  • 特許第5218960号 二ホウ化ジルコニウム(ZrB2)単結晶の育成法及び半導体形成用基板 (2013)
  • 特許第4919401号 素子基板とその製造方法 (2012)
  • 特許第4766375号 ホウ化物単結晶及びその製造方法並びにそれを用いた半導体成長用基板 (2011)
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第二期開発予定
第二期開発予定

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