Nanoscale imaging and X-ray spectroscopy of electrically active defects in ultra thin dielectrics on silicon
(シリコン上極薄誘電膜中の捕獲電荷のナノスケールイメージングとＸ線分光)
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:37:32 +0900 更新時刻: 2017-03-17 04:41:05 +0900