VUV-assisted hybrid bonding of organic/inorganic substrate at atmospheric pressure
(真空紫外光照射と蒸気暴露の補佐による架橋層形成を利用した完全大気圧低温異種材料接合)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-27 02:23:22 +0900更新時刻: 2017-03-17 04:33:59 +0900