Combinatorial methodology for optimizing oxide/Si interface structure with atomic interfacial layer
(コンビナトリアル手法による原子層制御による酸化物/Si界面の構造の最適化)
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-26 23:55:13 +0900更新時刻: 2017-03-17 02:00:46 +0900