Thermal stability of B-C-N thin films fabricated by magnetron sputtering using graphite and BN co-target
(グラファイトとBN複合ターゲットを用いたマグネトロンスパッタ法により作製されたB-C-N薄膜の熱安定性)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-27 00:51:38 +0900更新時刻: 2017-03-17 02:52:12 +0900