HOME > 会議録 > 書誌詳細Real-time Observation of Surface Stress evolution during Ozone Initial Oxidation(オゾン初期酸化中の表面応力の実時間測定)黒河明, ITAKURA, Akiko, KITAJIMA, Masahiro, 成島哲也, 河辺隆也, 一村信吾, 黒河明, 成島哲也, 河辺隆也, 一村信吾. Proceedings of the 1st International conference on semiconductor technology 212-217. 2001.NIMS著者板倉 明子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 11:25:22 +0900更新時刻: 2017-03-17 02:57:49 +0900
