HOME > 会議録 > 書誌詳細Planarization of zinc oxide surface and evaluation of processing damage(酸化亜鉛表面の平坦化と加工ダメージの評価)Hiroki Miyazaki, Yutaka Adachi, Isao Sakaguchi, Takamasa Ishigaki, Naoki Ohashi. KEY ENGINEERING MATERIALS 215-218. 2011.https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.485.215 NIMS著者安達 裕坂口 勲大橋 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-27 01:56:26 +0900更新時刻: 2024-04-01 22:48:48 +0900
