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Guiding Principles for Preparing High Quality Microcrystalline Silicon at High Growth Rates
(高品質微結晶シリコンの高速作製指針)

NIIKURA, Chisato, Naho Itagaki, Akihisa Matsuda.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2017-02-27 00:58:49 +0900更新時刻: 2017-03-17 02:59:02 +0900

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