Combinatorial Synthesis Approarch for Optimizing Oxide/Si Interface for the Future LSI
(次世代集積回路のためのコンビナトリアル手法を使った酸化物/Si界面の最適化と材料合成)
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-27 00:03:00 +0900更新時刻: 2017-03-17 02:07:48 +0900