SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > プロシーディングス > 詳細

プロシーティングスの表示

著者名Minoru Toriumi, Yuta Sato, Reiji Kumai, Yoshiyuki Yamashita, Koichi Tsukiyama, Toshiro Itani.
タイトルCharacterization of 'metal resist' for EUV lithography
発表誌名Proc. SPIE 9779
発表年2016
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1117/12.2219030

▲ページトップへ移動