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光熱偏向分光法によるギャップ中準位の評価

著者角谷 正友.
発表誌名第24回結晶工学セミナー「ワイドギャップ半導体結晶の評価とプロセス技術」ー評価/プロセスからマテリアルの本質に迫るー
発表年2019
言語Japanese

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