Comparative study of TiO2 anatase epitaxial and Polycrystalline Thin Films Grown by Magnetron Sputtering
(スパッタリングおよびCVDで作製したエピタキシャルアナターゼ膜の比較研究)
| 著者 | KAMEI, Masayuki, MIYAGI, TAKAHIRA, 小川智之, MITSUHASHI, Takefumi, 山崎淳司, 佐藤徹哉, ISHIGAKI, Takamasa. |
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| 発表誌名 | TRANSACTIONS OF THE MATERIALS RESEARCH SOCIETY OF JAPAN |
| 発表年 | 2004 |
| 言語 | English |