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Comparative study of TiO2 anatase epitaxial and Polycrystalline Thin Films Grown by Magnetron Sputtering
(スパッタリングおよびCVDで作製したエピタキシャルアナターゼ膜の比較研究)

著者KAMEI, Masayuki, MIYAGI, TAKAHIRA, 小川智之, MITSUHASHI, Takefumi, 山崎淳司, 佐藤徹哉, ISHIGAKI, Takamasa.
発表誌名TRANSACTIONS OF THE MATERIALS RESEARCH SOCIETY OF JAPAN
発表年2004
言語English

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