development of scanning microwave microscope for high-throughput characterization of combinatorial dielectric thin film

development of scanning microwave microscope for high-throughput characterization of combinatorial dielectric thin film
(走査型マイクロ波顕微鏡によるコンビナトリアル誘電体薄膜のハイスループット評価)

岡崎紀明, parhat.ahmet, CHIKYOW, Toyohiro, hiroyuki.odagawa, 福村知昭, yasuo.cho, 川崎雅司, makoto.ohtani, 鯉沼秀臣, 長谷川哲也, 岡崎紀明, parhat.ahmet, hiroyuki.odagawa, 福村知昭, yasuo.cho, 川崎雅司, makoto.ohtani, 鯉沼秀臣, 長谷川哲也.

mrs proceeding-combinatorial and artificial intelligence methonds in materials science-vol.700 . .

NIMS author(s)

CHIKYO, Toyohiro

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Created at: 2017-02-27 00:02:55 +0900Updated at: 2017-03-17 02:07:44 +0900

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(走査型マイクロ波顕微鏡によるコンビナトリアル誘電体薄膜のハイスループット評価)