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MOCVD法による酸化亜鉛薄膜成長
(ZnO film grown by MOCVD)

著者角谷 正友, 藤本 英司, 鯉沼 秀臣.
会議名東北大学金属材料研究所ワークショップ「酸化亜鉛半導体テクノロジー
発表年2007
言語Japanese

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