多元マグネトロンスパッタリングによるTi-Ni形状記憶合金薄膜の作製
(Formation of Ti-Ni Shape Memory Thin Films with a Multiple Cathode Magnetron Sputtering System)
表面技術協会１９９６年春期大会. 1996年03月21日-1996年03月23日.
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作成時刻: 2017-01-08 04:08:32 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:35:18 +0900