HOME > 口頭発表 > 書誌詳細基板にかけられた高電圧パルスにより発生するグロー放電プラズマを用いたプラズマイオン注入による炭素膜の堆積(Deposition of carbon films by plasma based ion implantation using glow discharge plasma ignited by high voltage pulses applied t)新野 仁, 石岡 邦江, 北島 正弘. The 6th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes. 2001.NIMS著者石岡 邦江Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-14 10:59:25 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:15:05 +0900