コンビナトリアルスパッタ法を用いた伝熱・熱電材料開発−ナノ伝熱制御からデバイス創製まで−
(Development of thermal functional materials by combinatorial sputter method - from nanoscale thermal conductivity control to device fabrication-)
第14回日本熱電学会学術講演会. 2017. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-12-15 22:05:12 +0900更新時刻: 2024-03-05 12:20:13 +0900