CVD法によるa-面アルミナ上への酸化亜鉛薄膜の合成と評価
(A synthesis of ZnO thin film on a-plane alumina by ECR assisted CVD method)
日本セラミックス協会2002年年会講演会. 2002年03月24日-2002年03月26日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:35:05 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:24:09 +0900