収束イオンビーム法による薄膜マスクの作製
(Fabrication of Sub-micron Membrane Mask by Forcused Ion Beam)
真空に関する連合講演会（真空学会）第37回. 1996年10月30日-1996年11月01日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:36:13 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:39:16 +0900