電子ビームを用いたガス反応誘起析出による任意形状ナノ構造の作製
(Fabrication of position and size controlled nanostructures by electron beam assisted gas deposition)
日本顕微鏡学会第59回学術講演会. 2003年06月07日-2003年06月09日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:23:26 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:39:50 +0900