高いオフ角をつけた(111)ダイヤモンド基板によるCVDダイヤモンド膜の歪の低減
(Reduction of strain distribution in CVD diamond lattice by using substrate with large misorientation angle)
2024年第71回 応用物理学会 春季学術講演会. 2024年03月22日-2024年03月25日.
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作成時刻: 2025-10-29 03:10:44 +0900 更新時刻: 2025-10-29 03:10:44 +0900