コンビナトリアル傾斜組成試料を用いた金属仕事関数の膜厚依存性の計測
(Metal work function measurement for thickness gradient combinatorial specimen)
第51回応用物理学関係連合講演会. 2004.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:39:08 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:55:35 +0900