電子線照射によるSiO2/Si試料損傷の低エネルギーオージェピークを用いた定量的評価
(Evaluation of electron irradiation damage on SiO2/Si with low energy Auger peaks)
表面科学講演大会. 2001年11月27日-2001年11月29日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:27:45 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:20:23 +0900