縦型立体構造デバイス実現に向けた半導体ナノワイヤの研究
(Research for the realization of next-generation vertical type semiconductor devices)
第9回JST領域会議. 2011. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:49:51 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:43 +0900