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シリカガラスへのZn+イオン注入後の熱酸化によるナノボイド形成
(Nanovoid Formation in Silica Glass Induced by Thermal Annealing after Zn+ Ion Implantation)
2007年春季 第54回応用物理学関係連合講演会. March 27, 2007-March 30, 2007.
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Created at: 2017-02-14 11:19:11 +0900 Updated at: 2017-07-10 19:54:17 +0900