口頭発表 | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

(Synthesis and characterization of cubic boron nitride thin films by inductively coupled radio frequency plasma CVD)

松本精一郎, Kalyan K. Chattopadhyay, ZHANG Yafei, 柳雅義, 伊藤滋, 明石和夫, 松本精一郎, Kalyan K. Chattopadhyay, ZHANG Yafei, 柳雅義, 伊藤滋, 明石和夫.

14 th International Symposium on Plasma Chemistry. 1999年08月02日-1999年08月06日.

作成時刻: 2017-02-18 01:42:15 +0900 更新時刻: 2018-05-30 18:27:25 +0900