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著者名成島哲也, 板倉 明子, 北島 正弘, 三木 一司, 黒河明, 河辺隆也.
タイトルオゾンによるシリコン表面酸化 2 :(001)表面上での反応機構と表面応力
(Oxidation of Si surface with ozon radical: (001)surface)
会議名第62回応用物理学会学術講演会
発表年2001
言語unknown
外部での文献参照

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