オゾンによるシリコン表面酸化 2 :(001)表面上での反応機構と表面応力
(Oxidation of Si surface with ozon radical: (001)surface)
第62回応用物理学会学術講演会. 2001.
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作成時刻: 2017-02-18 02:17:29 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:15:10 +0900