The Surface Stress under Ion Irradiation on Si and SAM-coasted Si
(自己集合単層膜上へのイオン照射中の表面応力)
AVS 49th International Symposium. 2002年11月04日-2002年11月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:40:44 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:26:19 +0900