シリコン表面の酸化に関する量子化学的検討
(Quantum chemical study on the silicon surface oxidation)
応用物理学会学術講演会. 1997年10月02日-1997年10月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:21:23 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:45:05 +0900