コンビナトリアル手法によるゲート絶縁膜用3元系非晶質酸化物の探索
(Discovery of new ternary amorphous oxides for the gate material by combinatorial three component composition)
春季第49回応用物理学関係連合研究会. 2002年03月27日-2002年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:06:14 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:22:25 +0900