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Ti-TiN傾斜機能膜の組成の温度.

池野進, 今井 義雄, 篠原 嘉一, 塩田一路, 池野進, 塩田一路.
日本金属学会. 1990年04月03日-1990年04月05日.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2017-02-18 00:18:19 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:09:54 +0900

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