低エネルギー集束イオンビームによるGaAs微結晶作製と配置制御の試み
(GaAs micro crystal growth and array formation by low energy focused ion beam)
荷電ビームの工業への応用第１３２委員会、第３回ナノビーム技術シン. 1998年05月20日-1998年05月21日.
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作成時刻: 2017-02-18 01:28:31 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:48:37 +0900