二次イオン質量分析装置を用いたGaN中のN, Oの定量分析
(Independent quantitative analysis of oxygen and nitrogen in GaN using secondary ion mass spectrometry. )
The Eighth International Conference on the Science and Technolog. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:10:19 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:06:45 +0900